熱式質量流量計(Thermal Mass Flowmeters,簡稱TMF)在國內習稱量熱式流量計,是利用流體流過外熱源加熱的管道時產生的溫度場變化來測量流體質量流量,或利用加熱流體時流體溫度上升某一值所需的能量與流體質量之間的關系來測量流體質量流量的一種流量儀表。一般用來測量氣體的質量流量。
熱式質量流量計:利用傳熱原理檢測流量的儀表,即利用流動中的流體與熱源(流體中加熱的物體或測量管外加熱體)之間熱量交換關系來測量流量的儀表。過去我國習稱量熱式流量計。
基本原理:通過測量氣體流經流量計內加熱元件時的冷卻效應來計量氣體流量的。氣體通過的測量段內有兩個熱阻元件,其中一個作為溫度檢測,另一個作為加熱器。溫度傳感元件用于檢測氣體溫度,加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測氣體的溫度之間有一個恒定的溫度差。當氣體流速增加,冷卻效應越大,使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質量流量,即供給電流與氣體質量流量有一對應的函數關系來反映氣體的流量。
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